一文说清干法刻蚀中各种气体的作用

一文说清干法刻蚀中各种气体的作用

一、含氟(F)等离子体刻蚀气体 1. CF₄(四氟化碳) 作用: 刻蚀SiO₂、SiN、Si(搭配O₂或H₂调节C/F比例:O₂减少聚合物,H₂增加聚合物)。 产生CF₃⁺、F自由基,兼具化学与离子轰击刻蚀。 原理 :F与Si/SiO₂键结合生成挥发性SiF₄。 搭配气体 :O₂(加速刻蚀)、H₂(增强侧壁保护)。 2. SF₆(六氟化硫) 展开剩余83% 作用: 高效刻蚀Si,适合无图形区清洗或深硅刻蚀(DRIE)。 清洁腔室。 特点 :刻蚀速率高,晶圆边缘易出现过蚀,需控制流均匀性。 3....

巴西学者:加强多边合作应对美关税危害_塞利亚_金砖国家_世界贸易组织

巴西学者:加强多边合作应对美关税危害_塞利亚_金砖国家_世界贸易组织

新华社圣保罗8月13日电(记者杨家和)巴西圣保罗大学国际法教授、金砖国家研究小组协调人保罗·博尔巴·卡塞利亚日前表示,美国关税政策破坏了以世界贸易组织为核心的多边贸易体制,金砖国家应加强合作应对美国关税政策的危害。 美国对巴西输美产品加征40%从价关税日前生效,大部分巴西输美产品面临的关税税率高达50%。卡塞利亚接受记者电话采访时说,美国关税政策具有明显政治动机,是对多边贸易规则的公然挑战。他呼吁金砖国家成员加速提升应变能力与话语权。 卡塞利亚说:“美国以关税为手段的制裁行为凸显了金砖国家强化...

AF647 Picolyl Azide可用于活细胞成像,检测低丰度生物分子_Biotin-PEG_标记_应用

AF647 Picolyl Azide可用于活细胞成像,检测低丰度生物分子_Biotin-PEG_标记_应用

化学结构: AF647 Picolyl Azide 是一种用于生物标记和成像的荧光探针。 包装: 基础知识概述: 中文名:AF647 Picolyl Azide 英文名:AF647 Picolyl Azide 规格标准:1mg、5mg、10mg 试剂厂家:陕西新研博美生物科技有限公司 相关应用: 点击化学:AF647 Picolyl Azide 适用于铜催化的叠氮-炔烃环加成反应(CuAAC),可用于标记含有炔基的生物分子。其铜螯合特性可显著提高反应效率,减少铜催化剂的用量。 展开剩余68%...

【ETF动向】6月13日华泰柏瑞中证A50ETF基金跌0.61%

【ETF动向】6月13日华泰柏瑞中证A50ETF基金跌0.61%

本站消息,6月13日,华泰柏瑞中证A50ETF基金(563350)跌0.61%,成交额2026.03万元。最新份额为5.64亿份,最新资产净值计算值为6.48亿元。华泰柏瑞中证A50ETF基金跟踪标的为中证A50指数,成立(2024-03-06)以来超额回报为5.42%,近一个月超额回报为0.66%,管理人为华泰柏瑞基金公司,基金经理为李茜。...

军工股“打头阵” A股做多情绪重燃!板块还有哪些预期差?

军工股“打头阵” A股做多情绪重燃!板块还有哪些预期差?

今日军工板块继续走强,截至收盘,中航成飞20%涨停,市值为2566亿,近4个交易日涨幅超60%。此外,七丰精工30%涨停,股价创历史新高。昆船智能、航天南湖、晨曦航空、华如科技等纷纷20%涨停。军工股领衔大涨之际,A股今日的做多氛围十分高涨,创业板指大涨逾2.6%。 受军工股大涨的影响,军工ETF表现也较为亮眼,截至收盘,多只军工相关ETF涨超5%。 消息面上来看,近期地缘政治局势的变化,使得市场对军工行业的关注度持续提升。自4月下旬克什米尔枪击事件发生以来,印巴边境局势持续升温,当地时间5月...

男女关系“变质”,往往从“礼物”开始,这4种礼物最伤感情

男女关系“变质”,往往从“礼物”开始,这4种礼物最伤感情

点击右上角蓝色字,关注我,点赞分享有用内容,功德无量~ 礼物,本该是心意的载体,是情感的具象化表达。 可不知从何时起,礼物成了男女关系中最微妙的试金石,也成了感情变质的第一个信号灯。 那些精心包装的盒子里,装的早已不是惊喜,而是算计; 那些烫金缎带捆扎的,不再是爱意,而是明码标价的期待。 我曾见过一对恋人,从学生时代互送手工书签的纯粹,到工作后为一只名牌包暗自较劲的疲惫; 也见证过许多婚姻,从纪念日的一枝玫瑰就能心满意足,到后来钻石克拉数成为衡量爱意深浅的冰冷标尺。 礼物的“变味”,往往比我们...